DevFS (Device File System) se poprvé objevil v jádrech řady 2.4 a naprogramoval jej Richard Gooch.
Jedná se o pseudo souborový systém připojovaný na /dev, který se stará o správu uzlů zařízení v Linuxu a jiných UNIXech. DevFS měl neměnnou strukturu, která byla zakompilována v jádře, to ovšem přinášelo řadu nevýhod, proto byl nahrazen programem udev.